Titán forgóhengeres célpont

Ez egy olyan komponens, amelyet a fizikai gőzfázisú leválasztási (PVD) eljárásokban használnak, amelyek vékony anyagrétegek szubsztrátumra történő felhordására szolgálnak. A titáncső célpontja tiszta titánból készült, és henger alakú, amely a PVD-folyamat során forog.

A PVD eljárás úgy működik, hogy elektromos ívet vagy magnetronos porlasztást használnak a célanyag, jelen esetben a titán elpárologtatására, és vékony filmként egy szubsztrátumra történő felvitelére. A forgó hengeres célpont lehetővé teszi a titán film egyenletesebb felvitelét a hordozóra.

A PVD-eljárásokban való felhasználás előnyei közé tartozik a leválasztott film nagy tisztasága, a nagy leválasztási sebesség és a jobb filmtapadás. A magnetronos porlasztáshoz használt titán forgócélpontok kiváló minőségű titán anyagból készülnek, és úgy tervezték, hogy ellenálljanak a magas hőmérsékletnek és a mechanikai igénybevételnek a PVD folyamat során.

Specifikáció Bevezetés

Normál méret típusa:

A mi előnyünk

Az általunk szállított titáncélok kis szemcsék, egyenletes eloszlásúak, nagy tisztaságúak, kevés zárványt tartalmaznak és nagy tisztaságúak. A leválasztott TiN fóliát dekorációban, szerszámozásban, félvezetőgyártásban és más területeken használják, jó tapadású, egyenletes bevonattal és élénk színekkel.

--Tisztaság

Minősített titán porlasztási cél előállításához a tisztaság az egyik fontos teljesítménymutató. A titán céltárgy tisztasága nagyban befolyásolja a porlasztóbevonat teljesítményét. Minél nagyobb a titáncéltárgy tisztasága, annál kevesebb szennyező elemrészecske van a porlasztott titánfilmben, ami jobb PVD-bevonat-teljesítményt eredményez, beleértve a jobb korrózióállóságot, valamint az elektromos és optikai tulajdonságokat. A gyakorlati alkalmazásokban azonban a különböző célokra szolgáló titán céltárgyak tisztasági követelményei eltérőek. A porlasztásnál katódforrásként a célanyagot használják, az anyagban lévő szennyező elemek és porozitászárványok pedig a lerakódott film fő szennyező forrásai. A porozitászárványok alapvetően a tuskó roncsolásmentes vizsgálata során kerülnek eltávolításra, az el nem távolított porozitászárványok pedig a porlasztási folyamat során kisülést okoznak, ami befolyásolja a film minőségét; a szennyező elemek tartalma csak a teljes elemanalízis vizsgálati eredményeiben tükröződhet, minél alacsonyabb a teljes szennyezőanyag-tartalom, annál nagyobb a titáncél tisztasága.

--Sűrűség

A sűrűség szintén fontos tényező a titáncéltárgyak minőségének mérésében. A megcélzott szilárd anyag porozitásának csökkentése és a porlasztott film teljesítményének javítása érdekében a céltárgynak általában nagyobb sűrűséggel kell rendelkeznie.

A célpont sűrűsége nemcsak a porlasztási sebességet, hanem a fólia elektromos és optikai tulajdonságait is befolyásolja. Minél nagyobb a célsűrűség, annál jobb a film teljesítménye. Ezenkívül a célpont sűrűségének és szilárdságának növelése lehetővé teszi, hogy a célpont jobban ellenálljon a porlasztás során fellépő hőterhelésnek. A sűrűség a cél egyik kulcsfontosságú teljesítménymutatója is.

--Részecskeméret és eloszlása

A porlasztó célpontok jellemzően több mikrométertől több milliméterig terjedő nagyságrendű szemcseméretű polikristályos szerkezetek. Ugyanazon célpont esetén minél kisebb a céltárgy részecskemérete, annál gyorsabb a célpont porlasztási sebessége; emellett a kisebb szemcseméret-különbséggel rendelkező célpont egyenletesebb vastagságú filmet tud porlasztani. A tanulmány megállapította, hogy ha a titán céltárgy szemcseméretét 100 μm alá szabályozzuk, és a szemcseméret változását 20%-on belül tartják, a porlasztott film minősége nagymértékben javítható.

--kristályos tájolás

A titán hatszögletű szerkezettel rendelkezik. Mivel a titán céltárgy atomjai a porlasztás során az atomok hatszögletű szorosan egymásra épülő iránya mentén könnyen porlasztásra kerülnek, a nagyobb porlasztási sebesség elérése érdekében a céltárgy kristályszerkezete a módszer változtatásával megváltoztatható. a porlasztási sebesség növelésére. A titán céltárgy krisztallográfiai iránya is nagy hatással van a porlasztott film vastagságának egyenletességére.

--Szerkezeti egységesség

A szerkezeti egységesség is az egyik fontos mutató a cél minőségének vizsgálatához. A titán céltárgyaknál nem csak a céltárgy porlasztási síkja, hanem a porlasztási sík normál irányösszetétele, szemcseorientációja és átlagos szemcseméret-egységessége is szükséges. Csak így tud a titáncél egy egyenletes vastagságú, megbízható minőségű és egyenletes szemcseméretű titánfilmet kapni az élettartama során.

Specifikációs eset

Forgási sebesség: A céltárgynak képesnek kell lennie akár több ezer ford./perc sebességgel is forogni, hogy egyenletesebb lerakódási sebességet érjen el, és meghosszabbítsa a céltárgy élettartamát.

Hűtés: A titáncső célpontját vízzel kell hűteni, hogy eloszlassa a leválasztási folyamat során keletkező hőt, és megelőzze a céltárgy sérülését.
Hátsó lemez: A titán hátlap általában a forgó henger céljának megtámasztására és elektromos érintkezés biztosítására szolgál.
Ragasztási módszer: A céltárgyat általában diffúziós kötéssel vagy más nagy szilárdságú kötési módszerrel ragasztják a hátlaphoz a jó hő- és elektromos vezetőképesség biztosítása érdekében.
Tisztaság: A magnetronos porlasztáshoz használt titán forgótárcsáknak nagy tisztaságúaknak kell lenniük, hogy minimálisra csökkentsék a lerakódott filmekben lévő szennyeződéseket és biztosítsák az egyenletes teljesítményt. A legtöbb alkalmazásnál a szennyeződések szintjének 1000 ppm-nél kisebbnek kell lennie.

Összességében a titán forgóhengeres céltárgy specifikációi a konkrét alkalmazási követelményektől függően változnak, és a céltárgy testreszabható ezeknek az igényeknek megfelelően.

Népszerű tags: Titanium Rotary Targets magnetron porlasztáshoz, titán cső célpont